中芯國際的大擴產計劃,有望大力帶動國產半導體設備、材料產業的發展。 “相比原來產線,國產設備、材料切入新建產線更加容易,也可以獲得更多的份額?!睂Υ?,上述業內人士表示,中芯國際擴產28nm等成熟制程,已經具有成熟產品的國產半導體設備公司、以及半導體材料公司,將迎來強勁增長機遇。

相關數據顯示,10萬片月產能的成熟制程晶圓廠,設備采購額高達70億美元(約450億元)。華西證券研報顯示,在晶圓制造設備開支占比上,刻蝕設備占比約22.1%、CVD設備16.4%,合計64.9%;CMP設備3.5%,離子注入設備3%,濺射設備4.8%,熱處理設備2.7%, 清洗設備7%,前道檢測設備10.5%。 多家國產半導體設備商已經可以提供用于前道28nm及以上制程的設備。 具體來看,中微公司、北方華創可提供刻蝕機。其中,中微公司在CCP電容性高能等離子體刻蝕機和ICP電感性低能等離子體刻蝕機兩種設備上,中微公司都開發了單反應臺反應器、雙反應臺反應器,來滿足不同客戶需求。

萬業企業可提供低能大束流、低能大束流重金屬、低能大束流超低溫、高能離子注入機設備等多種型號的離子注入機設備,公司已經取得了7臺訂單。 萬業企業半年披露了控股子公司凱世通的經營情況 至純科技的前道用槽式、單片式濕法設備需求旺盛。公司在半年報中披露,公司上半年整體新增訂單17.2億元,達到去年全年新增訂單的88%。其中,濕法設備新增訂單4.3億元(濕法設備中單片設備新增訂單2億元),達到去年全年濕法訂單的85%。

此外,芯源微可提供涂膠顯影設備,精測電子的前道晶圓檢測復查設備已經進入客戶驗證流程。

中芯國際新建產線投產后,將大幅拉動國產半導體材料的出貨量。

“月產能10萬片的晶圓廠,每個月雙氧水用量約1000噸、硫酸約1200噸?!睂τ谥行緡H擴產,晶瑞電材董秘陳萬鵬告訴記者,這對國產半導體材料是大利好,晶瑞電材的雙氧水、硫酸將“供不應求”。

除了高純雙氧水、高純硫酸等,晶瑞電材的光刻膠也將迎來更大市場。目前,晶瑞電材的紫外負型光刻膠和寬譜正膠及部分g線等高端產品已規模供應市場數十年;i線光刻膠近年已向中芯國際等企業供貨;高端KrF(248)光刻膠已完成中試,建成了中試示范線進入客戶測試階段;ArF高端光刻膠研發工作已啟動。 在光刻膠方面,彤程新材也將獲得更高的增長。今年上半年,彤程新材新增的10只光刻膠產品獲得長江存儲、中芯北方等用戶訂單,并趁著信越缺貨之際迅速完成了KrF光刻膠產品放量。公司旗下北京科華是國內最先進的光刻膠公司,其上半年半導體光刻膠業務實現營收5647.83萬元,同比增長46.74%,其中KrF光刻膠產品營收較上年同期更是大增94.51%。 大硅片占到晶圓廠耗材比例近37%。滬硅產業是國內最先進的12英寸大硅片廠商,已覆蓋中芯國際、長江存儲等國內主流的晶圓廠 、存儲廠。公司目前月產能已經達到25萬片,并提出年底實現30萬片/月的產能目標。在業內人士看來,硅片廠月產能達到30萬片,就開始具有規模效應。 此外,安集科技是國內CMP拋光液龍頭公司。鼎龍股份的CMP拋光墊7月的產能已突破1萬片,其中12英寸占比超過80%。

綜上看見,隨著市場的變遷,產業的發展,國產半導體設備及材料領域開始嶄露頭角。而中芯國際的擴產,有望給這些方興未艾的企業再添發展動力。